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公司專注于激光晶體和激光器件?;诤诵漠a品定位,芯飛睿逐步建立了專業(yè)的基礎硬件設施和技術研發(fā)團隊。芯飛睿擁有提拉爐,下降爐和熔鹽爐等等多種不同類型的晶體生長爐,用于生長各類光學晶體。建設有雙面拋光、環(huán)拋為主的平面拋光設備,用于各類激光晶體的加工。擁有離子輔助沉積(IAD)鍍膜機,用于高損傷閾值的激光鍍膜。建設了激光器件研發(fā)和生產條件,用于激光器件的研發(fā)和生產。

長晶車間擁有包括提拉爐,下降爐,熔鹽爐,熱交換爐在內的各種生長設備。 可生長各種摻雜的YVO4、YAG、 YLF、尖晶石、氟化物、BBO、 LBO、 CLBO等激光相關材料。 加工車間擁有包括X射線衍射儀,內圓切割機,單線切割機,多線切割機,無心磨床在內的多種加工設備。 可完成毛坯材料的粗加工。 拋光車間擁有包括手修磨拋機,數控平面精密銑磨機,雙面研磨拋光機,精密研磨拋光機,兩軸研磨拋光機,四軸精密研磨拋光機,平面精密環(huán)拋機,雙面研磨拋光機在內的多種拋光設備。 具有完整工藝的拋光產線4條(2條產線建設中)??赏瓿筛黝惣す獠牧系母咂焚|拋光。針對諸如鈦寶石,藍寶石等超高硬度材料開發(fā)了完整的拋光加工能力。

鍍膜車間擁有400m2超凈操作間,車間內擁有包括日本光馳1300CBI在內的多臺高性能鍍膜機。通過優(yōu)化薄膜的設計與蒸鍍工藝,可實現紫外266nm-紅外10.6μm范圍內的高損傷閾值鍍膜。芯飛睿采用熱蒸發(fā)、電子蒸發(fā)和離子輔助沉積技術進行鍍膜,薄膜激光損傷閾值超過40J/cm2 @ 1064nm 5ns10Hz, 達到行業(yè)領先水平。器件裝配車間擁有100m2的超凈操作間,可進行480nm-1550nm范圍內的磁光,聲光, 電光器件研發(fā),生產工作。檢測中心結合客戶使用需求,搭建了材料激光效率測試平臺,可對產品的激光性能參數進行測試。


長晶

長晶爐

  • 提拉法晶體生長生長爐
  • 溫度梯度法晶體生長爐
  • 下降法晶體生長爐
長晶爐

提拉法晶體生長方法及生長爐

提拉法是目前使用最為廣泛的工業(yè)化晶體生長方法,其通過坩堝上方懸吊籽晶,從熔體中緩慢向上旋轉提拉的方式來生長晶體,晶體尺寸,生長速率精準可控,生長過程可直接觀察監(jiān)測,溫場條件靈活可變,用以匹配不同種類晶體的生長需求,可以適用于生長品類不同,尺寸各異的晶體。
其優(yōu)點在于:

  • 適用性廣,是工業(yè)化生產使用最多的生長方式
  • 溫場條件靈活可變,適配不同種類晶體;(可根據生長晶體的不同物性來調整適當的溫場及生長工藝條件)
  • 生長過程直觀可見;(可通過觀察視窗觀察到晶體生長的過程,方便過程監(jiān)控及工藝調整)
  • 可以生長直徑范圍在10-100mm,等徑長度超300mm的晶體;(匹配不同坩堝)

公司采用提拉法先后生長過多個系列幾十種晶體,包括:稀土或過渡金屬離子摻雜YAG系列,YAP系列,硅酸鹽系列,藍寶石系列,釩酸鹽系列,鈮酸鹽系列,硼酸鹽系列等幾十種晶體。

溫度梯度法晶體生長爐

該方法是通過使用特制的發(fā)熱體,在縱向方向上形成穩(wěn)定的溫度梯度,在坩堝底部內置籽晶,從而實現晶體在坩堝內部自下而上的結晶生長。該方法生長過程中,坩堝靜置不動,內部熔體自然對流,更易于形成穩(wěn)定的生長界面,生長高品質晶體。
其特點是:

  • 溫場梯度穩(wěn)定性好
  • 溫度控制穩(wěn)定性高,控溫精度±0.1℃
  • 晶體批量生長的穩(wěn)定性好

常用于生長鈦寶石,紅寶石,V:YAG等高摻雜濃度,摻雜離子均勻性要求高的晶體。

下降法晶體生長爐

該方法是在生長區(qū)構建一個穩(wěn)定的適用于結晶生長的溫度梯度,然后將坩堝緩慢的向下運動,穿過生長區(qū),使得坩堝內部的原料在生長區(qū)內緩慢熔化、結晶生長,該方法突破了溫梯法固定溫區(qū)對坩堝尺寸的限制,能夠生長出尺寸更大,結晶高度更長的晶體。
其特點是:

  • 穩(wěn)定性好
  • 靈活性好,可以匹配不同的坩堝,生長不同尺寸的晶體
  • 可以生長直徑更大,高度更高的晶體坯料
  • 可是適用于生長直徑35-200mm,高度到50-100mm尺寸的晶體

采用該方法設備成功生長了氟化物系列晶體,如MgF2, LiF, BaF2, CaF2, CeF3等,并用于批量生長直徑6英寸的氟化物系列晶體。


切割

單線切割機

多線切割機

通過一根高速穩(wěn)定往復運轉的金剛線對固定在工作區(qū)間內的晶體坯料進行精密切割。常用于大型晶坯定向切割、開孔,線切割通過切割線切割晶體,結晶力小,切割過程平緩,不易開裂。

  • 工作區(qū)間大:500*500*500mm
  • 切割精度高:±0.05mm;
  • 旋轉角精度:<0.1°

多線切割機

通過多根高速穩(wěn)定往復運轉的金剛線對固定在工作區(qū)間內的晶體坯料進行精密切割,在其工作區(qū)間內,一次能夠同時切割幾十到幾千片同一厚度的產品,所以常被用于大批量產品的快速精密加工。

  • 工作區(qū)間大:800*500*500mm
  • 切割精度高:±0.05mm;
  • 批量能力:~3000片/day

鍍膜

IAD-900-鍍膜機

IAD-900-鍍膜機

  • 離子源:VEECO_Mark_Ⅲ
  • 電子槍:日本-JEOL -BS-60050EBS
  • 膜厚儀:美國-INFICON-IC6
  • 真空系統(tǒng):φ550低溫泵
  • 極限真空:2*10-5 Pa
  • 最大鍍膜工件:dia 300mm
  • 鍍膜波段:UV355-IR3500nm

IAD-1300-鍍膜機

  • 離子源:中科院空間中心
  • 電子槍:南京涉谷
  • 膜厚儀:MXC-3D
  • 真空系統(tǒng):TK-500 擴散泵
  • 極限真空:4*10-5 Pa
  • 最大鍍膜工件:dia 500mm
  • 鍍膜波段:IR1500-IR10600nm
IAD-1300-鍍膜機

器件

封裝設備-包括cos焊接設備、平行焊接設備、手動金絲鍵合設備、LD快軸壓縮平臺等。

高低溫老化爐、高溫精密烤箱、XRD衍射儀、冷等靜壓成型機、高低溫能量測試平臺、激光波長計、光束發(fā)散角測試平臺、激光損傷測試平臺、影像儀、晶體光軸檢測平臺、晶體偏振消光比測試平臺、拉力測試平臺、摩擦磨損試驗機等。

HC-SM100 平行焊接設備

HC-SM100 平行焊接設備

  • 型號:KD-V43,
  • 極限真空<1*10-3pa,
  • 最大焊接面積:300*400mm,
  • 溫度范圍:最高可達450℃
  • 可以有效降低芯片焊接的空洞率、提高焊接強度,并改善芯片散熱水平。
  • 能夠提供泵源光源的可靠性以及工作穩(wěn)定性。

真空共晶爐

  • 型號HC-SM100
  • 可以焊接的尺寸:3×3mm ~ 20×20mm
  • 焊接形狀:圓形、方形等
  • 焊接速度:0.1mm/s ~ 10mm/s
  • 通過真空烘烤和惰性氣體填充,能夠有效降低器件內部的水汽及氧氣含量,改善器件的高性能要求。
真空共晶爐
WT2330 系列超聲熱壓金絲球焊機

WT2330 系列超聲熱壓金絲球焊機

  • 型號:WT2330 系列
  • 鍵合類型:手動鍵合,
  • 可用金絲線徑:20-50um,
  • 一焊二焊最大跨度:可以達到4mm以上
  • 視覺系統(tǒng):體視顯微鏡(5×、30×)
  • COS芯片封裝中不可缺少的工藝步驟,可以增加器件的可靠性。

研發(fā)成果


服務客戶

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